缓存文件无法删除可能是由多种原因导致的，以下是一些可能的解决方案：

检查文件是否被占用：如果文件正在被其他程序使用，那么可能无法删除。你可以尝试关闭可能使用该文件的程序，然后再尝试删除。

使用管理员权限：在Windows系统中，尝试以管理员身份运行文件管理器或命令行工具，然后再尝试删除文件。在Linux或Mac系统中，可能需要修改文件权限或使用sudo命令。

检查磁盘空间：如果磁盘空间已满，也可能导致无法删除文件。你可以检查磁盘的使用情况，清理一些不必要的文件以释放空间。

检查文件系统：如果文件系统损坏，也可能导致无法删除文件。你可以运行磁盘检查工具来修复文件系统错误。

使用第三方工具：有些专业的文件清理工具或磁盘清理软件可能能够帮助你删除那些顽固的缓存文件。

重启计算机：有时候，简单地重启计算机就可以解决无法删除文件的问题。

如果以上方法都无法解决问题，你可能需要进一步检查你的系统或寻求专业的技术支持。在尝试删除任何文件之前，一定要确保你知道这些文件是什么，以及删除它们可能带来的后果。误删重要文件可能会导致系统不稳定或数据丢失。